Твердотельные электронные СВЧ-приборы

Монолитные и гибридно-монолитные интегральные СВЧ-системы
	Δf, ГГц	Кш, дБ	Ку, дБ	Рвых, мВт	МИС	ГМИС	Типы
Усилители	1...18	2...4	10...20	50...1500			40
Преобразователи и смесители	1...15	10	0	15			7
Умножители и делители	1...18	-	0	20...80			8
Генераторы	4,5...12	-	-	25...120			19
СВЧ - транзисторы
Малошумящие транзисторы	1...40	1...3	6...10	5			2
Мощные транзисторы	1...14	-	7...12	1000...2000			9

В настоящее время на НПП "Исток" используются технологии изготовления:

• гибридно-монолитных интегральных схем (ГМИС) на пластинах монокристаллического сапфира;
• малошумящих и мощных транзисторов с длиной затвора 0,2 мкм;
• металлизированных отверстий в арсениде галлия;
• "воздушных мостов" для межпересечений;
• тонкопленочных резисторов, конденсаторов и индуктивностей для пассивной части МИС СВЧ.

Для достижения паритета в развитии отечественной технологии монолитных интегральных схем СВЧ разрабатываются:

• технология изготовления Т- образного затвора длиной 0,1 мкм;
• технология изготовления гетероструктур с высокой подвижностью электронов.

На НПП "Исток" построена первая в России пилотная линия по разработке и производству транзисторов и МИС СВЧ с размерной обработкой 0,1 мкм и объёмом выпуска 1 млн кристаллов в год. Создание этой линии решило задачу производства современных транзисторов типа НFЕТ, PНЕМТ и МИС СВЧ на их основе в диапазоне 1...40 ГГц, что позволит удовлетворить самые высокие требования техники мирового уровня и обеспечить транзисторами и МИС СВЧ всех заинтересованных заказчиков.

Основные МИС СВЧ, выпускаемые предприятием

Фазовращатель 4,3х2,2 мм	Переключатель 1,9х1,4 мм	Аттенюатор 2,4х1,5 мм	ЗУ 1,1х0,8 мм	СУ 1,26х1,1 мм	МШУ 2,1х11 мм	УМ 2,75х1,5 мм

Твердотельные устройства для РЭА

Ограничители СВЧ-мощности для защиты входных цепей СВЧ-приемных устройств, амплитудные и фазовые детекторы, балансные смесители и преобразователи частоты вверх, двухбалансные квадратурные смесители и смесители с подавлением зеркального канала, умножители частоты и амплитудные модуляторы, ступенчатые и плавные аттенюаторы, ступенчатые фазовращатели, СВЧ-переключатели и выключатели в диапазоне частот 0,1...18 ГГц имеют рабочую полосу 10...50%.

Виды изделий	Основные параметры
Самосогласованные транзисторы	Рабочие частоты, ГГц	3; 6; 10; 15
	Выходная мощность, Вт	1; 5; 15
	Коэффициент усиления, дБ	5...8
Ограничители СВЧ-мощности	Входная мощность, Вт	1...100
	Начальные потери, дБ	0,5...2
	Выходная мощность, мВт	5...50
Балансные смесители, смесители с подавлением зеркального канала	Диапазон входных частот, ГГц	1...18
	Рабочая полоса частот, %	10...50
	Потери преобразования, дБ	5...9
	Диапазон выходных частот, ГГц	0...4
	Подавление зеркального канала, дБ	15...20
	Диапазон входных и выходных частот, ГГц	1...18
Диодные умножители	Рабочая полоса частот,%	10...50
	Потери преобразования, дБ	8...16
Переключатели, выключатели, модуляторы	Начальные потери, дБ	0,5...2
	Развязка между каналами,дБ	20...60
	Время переключения и выключения, нс	не более 2
	Рабочая мощность, Вт	до 10
Плавные аттенюаторы	Начальные потери, дБ	1...3
	Максимальное ослабление, дБ	10...60
	КСВН	не более 2
	Начальные потери, дБ	2...6
Ступенчатые аттенюаторы	Количество разрядов	3...8
	Минимальный шаг перестройки, дБ	0,5; 1; 1,5
	Максимальное ослабление, дБ	9,5...95,5
	Начальные потери, дБ	2...6
Ступенчатые фазовращатели	Количество разрядов	4...5
	Минимальные шаг перестройки, град	11,25; 22,5
	Диапазон перестройки фазы, град	0...360

Измерительные генераторы шума для калибровки и аттестации измерительной аппаратуры и встроенного контроля приемных устройств. Перекрывают диапазон частот 0,01...40 ГГц

Приемо-преобразовательные модули

Усилители мощности

Малошумящие усилители в волноводном, коаксиальном и микрополосковом исполнениях

Многофункциональные ТТ СВЧ-модули

С использованием различных вариантов объединения в одном корпусе однофункциональных твердотельных узлов, многофункциональные модули обеспечивают:

• активную и пассивную защиту входных каскадов малошумящих усилителей;
• управление уровнем усиления, фазой приёмных и передающих каналов;
• преобразование входного сигнала в сигнал промежуточной частоты от внешнего или встроенного гетеродинов;
• усиление на промежуточной частоте;
• детектирование сигналов.

Применяются в системах радиолокации и в аппаратуре связи. Разработано и выпускается более 300 типов твердотельных модулей.

Многоканальные гибридно-интегральные малошумящие приемные модули СВЧ

Приемно-передающий блок

Ферритовые СВЧ-приборы

Используются в качестве невзаимных элементов волноводных и гибридно-интегральных схем

Волноводные ферритовые приборы

Микрополосковые ферритовые и многофункциональные элементы гибридных интегральных схем

Ферриты-гранаты и литиевые ферриты