АО "НПП "Исток" им. Шокина"
 Карта сайта
en
ru
info@istokmw.ru
Электронная почта

Технология вакуумных СВЧ-приборов

Базовый технологический процесс современного СВЧ электровакуумного прибора содержит 5...8 тыс. технологических операций. Число деталей в приборе достигает 300...500 единиц. При разработке и производстве используются следующие процессы:

  • электроискровая обработка замедляющих и резонаторных систем, сеток электронных пушек, магнитов и др., фотолитография, лазерная и прецизионная механическая обработка. Точность изготовления прецизионных деталей в пределах 1...10 микрон.

    Основные материалы деталей - медь и её сплавы, молибден, низкоуглеродистая и нержавеющая стали, сплав ковар, никель, тантал, титан, магнитные и катодные материалы и др.

  • операции по сборке деталей и узлов с применением контактной и лазерной сварки. Сборка различных узлов приборов для последующих операций пайки и сварки.
    Монтаж катодов, электродов, сеток для электронных пушек и др.
  • высотемпературная пайка припоями на основе Cu, Ag, Au (700...1100 °С) в защитной среде (водород, вакуум).

    Основные узлы - анодные блоки, выводы энергии, замедляющие системы, электронные пушки, коллекторы, металлокерамические узлы и др.

Технологии вакуумных СВЧ-приборовТехнологии вакуумных СВЧ-приборовТехнологии вакуумных СВЧ-приборов

 

Диффузионная сварка разнородных металлов (T=900...1000°С, P=0,6...1,2 кг/мм). Многослойные композиции металлов, сплавов для различных узлов ЭВП: медь-железо, медь-молибден-железо, медь-константан и др.

Диффузионная сварка разнородных металлов

Диффузионная низкотемпературная пайка (T=600...700°С, Р=0,1...0,3 кг/мм2) через прослойку золота (без применения припоев) для приборов мм-диапазона

Диффузионная низкотемпературная пайка

 

Герметизация приборов:

Аргонодуговая сварка (диапазон токов 0...200 А).

Электронно-лучевая сварка (ток луча 40...200 мА, диаметр луча 0,2...0,4 мм, напряжение 25...50 кВ). Концентраторная высокочастотная пайка.

Герметизация приборов

 

Откачка приборов.

Термовакуумная обработка (500...600 °С) на откачных постах с турбомолекулярными насосами и напуском водорода
(Р =10-2 Па). Высоковольтная тренировка (Uа = 10...60 кВ) межэлектродных зазоров в отпаянных приборах. Откачка современными магнитными электроразрядными насосами (скорость откачки S = 0,5...2,0 л/с, U = 4...5 кВ, индукция 0,2...0,3 Т).