Монолитные интегральные схемы СВЧ (МИС СВЧ)

На НПП "Исток" построена пилотная линия для промышленного производства монолитных интегральных схем и транзисторов СВЧ-диапазона на основе GаАs, предназначенных для применения в телекоммуникационной радиоэлектронной аппаратуре.

На предприятии освоены самые передовые технологические процессы изготовления МИС и транзисторов СВЧ: электронно-лучевая и проекционная фотолитография, ионная имплантация и плазмохимия, что позволяет довести объем выпуска кристаллов до 1 млн шт. в год.

Основные технологические процессы производства МИС СВЧ.

Формирование эпитаксиальных структур	Формирование канала	Формирование резисторов
Формирование контактов		Резисторы
Контакты	Канал	Формирование конденсаторов
Формирование мезоструктуры	Формироваие затвора
Мезоструктура	Затвор	Конденсаторы

Формирование металлизации и мостов	Формирование отверстий
Мосты	Формирование интегрального теплоотвода
Утонение подложки