Монолитные интегральные схемы СВЧ (МИС СВЧ)
На НПП "Исток" построена пилотная линия для промышленного производства монолитных интегральных схем и транзисторов СВЧ-диапазона на основе GаАs, предназначенных для применения в телекоммуникационной радиоэлектронной аппаратуре.
На предприятии освоены самые передовые технологические процессы изготовления МИС и транзисторов СВЧ: электронно-лучевая и проекционная фотолитография, ионная имплантация и плазмохимия, что позволяет довести объем выпуска кристаллов до 1 млн шт. в год.
Основные технологические процессы производства МИС СВЧ.
Формирование эпитаксиальных структур | Формирование канала | Формирование резисторов |
![]() |
![]() |
![]() |
Формирование контактов | Резисторы | |
![]() |
![]() |
|
Контакты | Канал | Формирование конденсаторов |
![]() |
![]() |
![]() |
Формирование мезоструктуры | Формироваие затвора | |
![]() |
![]() |
|
Мезоструктура | Затвор | Конденсаторы |
![]() |
![]() |
![]() |
Формирование металлизации и мостов | Формирование отверстий |
![]() |
|
Мосты | Формирование интегрального теплоотвода |
![]() |
![]() |
Утонение подложки | |
![]() |