Монолитные интегральные схемы СВЧ (МИС СВЧ)
На НПП "Исток" построена пилотная линия для промышленного производства монолитных интегральных схем и транзисторов СВЧ-диапазона на основе GаАs, предназначенных для применения в телекоммуникационной радиоэлектронной аппаратуре.
На предприятии освоены самые передовые технологические процессы изготовления МИС и транзисторов СВЧ: электронно-лучевая и проекционная фотолитография, ионная имплантация и плазмохимия, что позволяет довести объем выпуска кристаллов до 1 млн шт. в год.
Основные технологические процессы производства МИС СВЧ.
| Формирование эпитаксиальных структур | Формирование канала | Формирование резисторов |
 |
 |
 |
| Формирование контактов | Резисторы | |
 |
 |
|
| Контакты | Канал | Формирование конденсаторов |
 |
 |
 |
| Формирование мезоструктуры | Формироваие затвора | |
 |
 |
|
| Мезоструктура | Затвор | Конденсаторы |
 |
 |
 |
| Формирование металлизации и мостов | Формирование отверстий |
 |
|
| Мосты | Формирование интегрального теплоотвода |
 |
 |
| Утонение подложки | |
 |
