АО "НПП "Исток" им. Шокина"
 Карта сайта
ru
info@istokmw.ru
Электронная почта

Кристальное производство

Монолитные интегральные схемы СВЧ (МИС СВЧ)

На НПП "Исток" построена пилотная линия для промышленного производства монолитных интегральных схем и транзисторов СВЧ-диапазона на основе GаАs, предназначенных для применения в телекоммуникационной радиоэлектронной аппаратуре.

На предприятии освоены самые передовые технологические процессы изготовления МИС и транзисторов СВЧ: электронно-лучевая и проекционная фотолитография, ионная имплантация и плазмохимия, что позволяет довести объем выпуска кристаллов до 1 млн шт. в год.

 

Основные технологические процессы производства МИС СВЧ.

Формирование эпитаксиальных структур Формирование канала Формирование резисторов
Формирование эпитаксиальных структур Формирование канала Формирование резисторов
Формирование контактов Резисторы
Формирование контактов Резисторы
Контакты Канал Формирование конденсаторов
Контакты Канал Формирование конденсаторов
Формирование мезоструктуры Формироваие затвора
Формирование мезоструктуры Формироваие затвора
Мезоструктура Затвор Конденсаторы
Мезоструктура Затвор Конденсаторы

 

Формирование металлизации и мостов Формирование отверстий
Формирование металлизации и мостов

Формирование отверстий

Мосты Формирование интегрального теплоотвода
Мосты Формирование интегрального теплоотвода
Утонение подложки
Утонение подложки